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    真空泵應用于半導體的注意事項

      深圳真空泵廠家務明集成系統公司講解一下,真空泵應用于半導體的注意事項有哪些?

    半導體工藝真空主要用于鍵合工藝,如蒸發、濺射、等離子體化學氣相沉積、真空干法刻蝕、真空吸附、測試設備、真空清洗等。半導體生產制造過程中容易產生易燃、易爆、有毒物質和氣體,對生產和人員安全構成威脅。因此,半導體真空泵應用中的幾個安全注意事項如下:

      1.定期清潔真空泵和其他附件、過濾器和管道,以避免過壓。

      在半導體真空泵的應用中,當介質在介質提取過程中通過反應室和真空泵時,介質的組成可能極其復雜。例如,四氯化硅和氧氣在泵口形成二氧化硅,而四氯化鈦水解形成鹽酸。假設是油封機械泵,這些氣體物質也可能與泵油發生反應。這些變化假定形成顆粒、可冷凝物或腐蝕性介質,它們可能阻塞真空泵或管道系統,影響真空泵的性能,導致壓力上升或過壓,并造成更大的風險。因此,有必要及時清理,必要時設置過濾設備。

      2.有效稀釋有害氣體的濃度

      半導體容易產生上述易燃、易爆和有毒的有害氣體。因此,在半導體真空泵的應用中,當提取這些介質時,有必要防止在真空泵或排氣過程中發生一些不可控的反應。例如,當與空氣或氧氣接觸時,SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物質會引起燃燒甚至爆炸。當空氣中氫的混合比例達到一定程度和溫度時,也會發生燃燒。這些都取決于物質的數量及其與環境壓力和溫度的關系。因此,當半導體真空泵抽取這些介質時,在壓縮之前,需要惰性氣體如氮氣將這些氣體稀釋到當前條件下的安全范圍。


      3.注意氧氣的濃度

      如果空氣中的氧氣濃度過高,也會發生燃燒和爆炸的危險。因此,在某些情況下,應注意氧氣的濃度,并應使用惰性氣體稀釋氧氣,以防止濃度過高。假設油封機械泵可能需要使用一些惰性氧兼容的真空泵油,并及時更換濾油器和油品。

      4.防止溫度過高

      理解這一點更容易。在半導體在真空泵中的應用中,有許多有害氣體。但是,無論是干式真空泵還是油封機械泵,如果泵腔內溫度過高,易燃、易爆和有毒氣體在高溫下很容易產生危險。

      當我們使用真空泵時,我們需要注意導體使用中的安全注意事項,并在以后的使用中做好準備。


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